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    来源: | 作者:奇汇真空 | 发布时间: 2015-05-08 | 1948 次浏览 | 分享到:

    真空的术语解释

    真空的定义:
    真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

    真空度:
    处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用真空度高真空度低来表示。真空度高表示真空度的意思,真空度低表示真空度的意思。

    真空度单位:
    通常用托(Torr)为单位,国际上取用帕(Pa)作为单位。1=1/760大气压=1毫米汞柱

    托与帕的转换:
    1=133.322帕 或 1=7.5×10-3

    平均自由程:
    作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。

    流量:
    单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·/秒(Pa·L/s)或托·/秒(Torr·L/s)。

    流导:
    表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U” U=Q/(P2- P1)

    压力或压强:
    气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P”表示。

    标准大气压:
    压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)。

    极限真空:
    真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最后一个小时每隔10分钟测量一次,取                     其10次的平均值为极限真空值。

    抽气速率:
    在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。即Sp=Q/PP0

    冷阱(水冷挡板):
    置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。

    气镇阀:
    油封机械真空泵的压缩室上开一小孔,并装上调节阀,当打开阀并调节入气量,转子转到某一位置,空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比,从而使大部分蒸汽不致凝              结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。

    真空冷冻干燥:
    真空冷冻干燥,也称升华干燥。其原理是将材料冷冻,使其含有的水份变成冰块,然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。

    真空蒸镀:
    在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。

    真空干燥:
    利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。

    真空系统常用名称:

    主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
    前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
    粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。